LasMino

Projektinformation

Laserstrukturierungssystem zur Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen in Glas und Polymeren (LasMino)

Im Rahmen dieser EFRE-Infrastrukturmaßnahme wird ein neuartiges 3D-Laserstrukturierungssystem basierend auf dem Verfahren des selektiven Laserätzens (SLE) etabliert. Dabei handelt es sich um eine Hybridtechnik bestehend aus einer Vorstrukturierung durch einen Ultrakurzpuls-Laser, bei der das in CAD designte Layout auf das Glassubstrat übertragen wird. Das laserbehandelte Material verfügt über eine deutlich erhöhte Ätzrate, so dass das Ätzen (z.B. mit KOH) an diesen Stellen favorisiert ist. Dadurch ist es möglich, komplexe 3D Strukturen, wie in der folgenden Abbildung dargestellt, in Glas zu fertigen.

Ziele des Projektes

Das 3D-Laserstrukturierungssystem soll die technisch-instrumentelle Infrastruktur am akademischen Standort Leipzig im Bereich der Chip-Reinraumprozesstechnik für mikrofluidische Lab-on-chip Systeme erweitern. Das neuartige Verfahren zur Mikro-Nano-Laserstrukturierung von Glas und Polymeren soll hierbei in allen aktuellen Forschungsbereichen rund um den Themenschwerpunkt komplexer, integrierter Mikrolaboratorien genutzt werden, um derzeitige technische Limitierungen zu überwinden und neue Forschungs- und Entwicklungsmöglichkeiten, z.B. für koordinierte Programme wie die DFG-Forscher- gruppe „InChem“, zu eröffnen. Dies beinhaltet Forschungsthemen wie die Entwicklung optisch volltransparenter Mikrokavitäten-Elektrodenarrays für die gewebebasierte Wirkstofftestung oder die Miniaturisierung und nahtlose Integration von chemischer Durchflusssynthese, analytischen Trenntechniken und leistungsstarken Detektionsverfahren in komplexen Mikrolaboratorien

letzte Änderung: 02.07.2019